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芯片無塵無氧烤箱,可編程無塵烘箱

芯片無塵無氧烤箱,可編程無塵烘箱

簡要描述:

芯片無塵無氧烤箱,可編程無塵烘箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

芯片無塵無氧烤箱,可編程無塵烘箱概述

應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

芯片無塵無氧烤箱,可編程無塵烘箱技術參數(shù)

?主要技術指標

Ø  材質(zhì):外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼,內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼

Ø  溫度范圍:RT+10-200℃,使用溫度≤150℃

Ø  溫度分辨率:0.1℃

Ø  溫度波動度:<±1℃

Ø  溫度均勻度:≤±2%

Ø  潔凈度:class 100,設備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境

Ø  升溫時間:5-8℃/min,(空箱測試)

Ø  降溫時間:可滿足130℃-50℃,降溫5℃/min(空箱測試)

Ø  氧含量

(配氧含量分析儀)高溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量

低溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量

Ø  數(shù)據(jù)輸出:溫度和氧含量無紙記錄儀

系統(tǒng)結構

Ø  熱風循環(huán)系統(tǒng):采用進口覆套式電熱器(SHEATHED HEATER)無塵無氧化電熱發(fā)生器

箱體后部裝有離心循環(huán)風機、氮氣進氣口和排氣口,離心風機將箱內(nèi)加熱的熱風與進氣口的新鮮氮氣混合,一部分氣體混合烘干處理產(chǎn)生的廢氣物從排氣口排出,大部分氣體進入箱體兩側的循環(huán)風道,攜帶加熱器產(chǎn)生的熱量,進入箱體內(nèi)對產(chǎn)品進行加熱烘烤,然后由離心風機重新吸回,從而往返循環(huán)

Ø  氣體系統(tǒng):愛美克H.E.P.A,(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100

箱體內(nèi)裝有氧含量分析儀,全稱檢測氧含量,并記錄數(shù)據(jù)排氣口采用自動風門設計以達到強烈的循環(huán)效果及快速降溫,進氣口加附N2流量計控制進氣量,入氣口10mm氧含量可達到40PPM以下

Ø  水冷系統(tǒng):翅片式水冷散熱器,當箱體內(nèi)部溫度低于200℃時,冷卻水通過散熱器快速帶走更多的熱量,使得箱內(nèi)溫度快速下降,縮短降溫時間,提高生產(chǎn)效率水冷電機,設有低水壓報警,防止電機過熱損壞水套水冷,設有低水壓報警,防止密封圈過熱損壞及老化

Ø  溫控系統(tǒng):采用日本RKC-PF900溫度控制器,內(nèi)置斜率設定、PID自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多種功能采用日本橫河六通道巡回檢測,有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實時環(huán)境溫度進行檢測打印

Ø  軟件系統(tǒng):控制系統(tǒng)采用日本三菱公司FX3G系列高速型邏輯控制器,可與現(xiàn)場總線聯(lián)機遠程操控

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