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HMDS烘箱

HMDS鍍膜機 HMDS預處理系統 HMDS烤箱 HMDS預處理烘箱

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HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布，涂膠工藝的配置機臺。

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更新日期
2025-09-17

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碳化硅HMDS烘箱，SiC襯底HMDS烤箱工業烘箱

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HMDS烘箱真空泵，IDP10無油泵

HMDS烘箱真空泵，IDP10無油泵泵具有密封設計，電機和軸承與真空環路全隔離，延長了軸承的使用壽命，并提供潔凈、無油的真空條件。IDP 泵采用單面渦旋設計，可通過簡單的工具在 15 分鐘內完成維護操作。可選的集成式隔離閥防止意外污染，并且不會額外增加泵的高度。

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OAP烘箱，OAP處理烘箱工業烘箱

OAP烘箱，OAP處理烘箱處理主要是為了改善親水性表面，變為疏水性，從而達到增加光刻膠粘附性的作用。

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六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設備工業烘箱

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設備的作用是勻膠前襯底“增附”處理。在光刻中，通常會用到一些例如藍寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底，這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想，這會導致后續的光刻顯影環節出現“裂紋”甚至是漂膠等問題。因此必須通過工藝手段改善，這個步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

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