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  • HMDS 烘箱 工業烘箱
    HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內加熱到(120-150°C),在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結合。
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    2025-09-17
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  • HMDS烤箱,HMDS真空烘箱
    HMDS烤箱,HMDS真空烘箱將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。
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  • HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )-真空烘箱
    HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在箱內先經過100℃-200℃的去水烘烤,再進行HMDS處理,不需要從箱內傳出,而接觸到空氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有更好的處理效果。
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  • 智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)
    智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。
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  • 智能型HMDS系統真空泵,HMDS涂膠機干泵
    智能型HMDS系統真空泵,HMDS涂膠機干泵密封設計(電機和所有軸承與真空環路*隔開)延長了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護閥內置于泵模塊中, 可根據需要使用,不會額外增加泵的高度。
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